| 发明名称 |
THERMOSTATIC DEVICE FOR THE SAFE AND CONTROLLED VAPORIZATION OF NOXIOUS OR LIQUID SOURCE MATERIALS THAT ARE HIGHLY REACTIVE IN THE AIR, ESPECIALLY FOR LOW PRESSURE VAPOUR DISCHARGE SYSTEMS IN THE FIELD OF SEMICONDUCTORS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0328888(B1) |
申请公布日期 |
1992.05.20 |
| 申请号 |
EP19890100809 |
申请日期 |
1989.01.18 |
| 申请人 |
SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT |
发明人 |
TREICHEL, HELMUTH;FUCHS, DIETER |
| 分类号 |
B01D1/14;B01D3/42;C03B37/014;C23C16/448;C30B25/14 |
主分类号 |
B01D1/14 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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