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发明名称 PIRANI VACUUM GAUGE
摘要
申请公布号 JPH04147028(A) 申请公布日期 1992.05.20
申请号 JP19900271759 申请日期 1990.10.09
申请人 NEC YAMAGATA LTD 发明人 SANADA KENICHI
分类号 G01L21/12 主分类号 G01L21/12
代理机构 代理人
主权项
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