| 摘要 |
procédé et appareil améliorés de spectrométrie de masse à source de plasma. L'appareil comprend: un générateur (16) de plasma (15) dans un gaz sous une pression essentiellement atmosphérique; un dispositif (4) d'introduction d'un échantillon dans le plasma, l'échantillon étant ionisé afin de former des ions d'échantillon (17); un dispositif (19, 23) de transmission des ions du plasma à une chambre sous vide (24); un filtre de masse (26) agencé dans la chambre sous vide; un détecteur d'ions (58) essentiellement non multiplicateur qui comprend un collecteur d'ions (59) et qui est sensible à la charge d'au moins une partie des ions de l'échantillon qui traversent le filtre de masse; et un dispotitif inhibiteur de la réponse du détecteur à des particules électriquement neutres. Typiquement, le détecteur comprend un suppresseur (63) et un dispositif (64) qui polarise négativement le suppresseur par rapport au collecteur, de même qu'un écran (61) qui protège le suppresseur contre des particules neutres. On obtient ainsi une plus grande plage dynamique et une sensibilité réduite au bruit. |
