发明名称 PRODUCTION OF OXIDE SUPERCONDUCTOR THIN FILM
摘要
申请公布号 JPH04144994(A) 申请公布日期 1992.05.19
申请号 JP19900266657 申请日期 1990.10.05
申请人 MITSUBISHI HEAVY IND LTD;KOKUSAI CHIYOUDENDOU SANGIYOU GIJIYUTSU KENKIYUU SENTAA 发明人 OISHI AKIRA;MORISHITA TADATAKA
分类号 C30B29/22;H01L39/24 主分类号 C30B29/22
代理机构 代理人
主权项
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