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发明名称 FIELD EFFECT TRANSISTOR AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH04145629(A) 申请公布日期 1992.05.19
申请号 JP19900268361 申请日期 1990.10.08
申请人 HITACHI LTD;HITACHI VLSI ENG CORP 发明人 MATSUMOTO HIDETOSHI;UMEMOTO YASUNARI;SHIGETA JUNJI;KAGAYA OSAMU;MIYAZAKI MASARU;OISHI YOSHIHISA;ODA HIROTO
分类号 H01L29/812;H01L21/338;H01L29/417 主分类号 H01L29/812
代理机构 代理人
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