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发明名称 SELF CLEANING FLOW CONTROL ORIFICE
摘要
申请公布号 US5113789(A) 申请公布日期 1992.05.19
申请号 US19900513807 申请日期 1990.04.24
申请人 WATKINS JOHNSON COMPANY 发明人 KAMIAN, GEORGE D.
分类号 C23C16/44;C23C14/56;C23C16/54;H01L21/285;H01L21/31 主分类号 C23C16/44
代理机构 代理人
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