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发明名称 SEMICONDUCTOR ASSEMBLY SYSTEM
摘要
申请公布号 JPH04145631(A) 申请公布日期 1992.05.19
申请号 JP19900269832 申请日期 1990.10.08
申请人 NEC CORP 发明人 SHIMOBAYASHI MASARU
分类号 H01L21/52;H01L21/50 主分类号 H01L21/52
代理机构 代理人
主权项
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