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发明名称 SOAKING PLATE FOR HEATING WAFER
摘要
申请公布号 JPH04143279(A) 申请公布日期 1992.05.18
申请号 JP19900267051 申请日期 1990.10.04
申请人 HITACHI ELECTRON ENG CO LTD 发明人 OYAMA KATSUMI;NAGASAKI KEIICHI;SUZUKI KEIICHI;HINO SHIGEKI;HIKIMA HITOSHI
分类号 C23C16/46;C23C16/50;H01L21/205;H01L21/31 主分类号 C23C16/46
代理机构 代理人
主权项
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