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发明名称 MANUFACTURE OF SILICON ON INSULATOR BOARD
摘要
申请公布号 JPH04144113(A) 申请公布日期 1992.05.18
申请号 JP19900266453 申请日期 1990.10.05
申请人 FUJITSU LTD 发明人 MIYAYASU TORU
分类号 H01L21/762;H01L21/02;H01L21/304;H01L21/31;H01L21/76;H01L27/12 主分类号 H01L21/762
代理机构 代理人
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