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发明名称
SUBSTRATE COOLING MECHANISM
摘要
申请公布号
JPH04143273(A)
申请公布日期
1992.05.18
申请号
JP19900267125
申请日期
1990.10.04
申请人
ULVAC JAPAN LTD
发明人
KUSUMOTO TOSHIO;NAWA HIROYUKI;FUJINO HIROSHI
分类号
C23C14/50
主分类号
C23C14/50
代理机构
代理人
主权项
地址
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