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经营范围
发明名称
METHOD OF CLEANING SPIN-COATER
摘要
申请公布号
JPH04144120(A)
申请公布日期
1992.05.18
申请号
JP19900266502
申请日期
1990.10.05
申请人
OKI ELECTRIC IND CO LTD
发明人
KAWAZU TAKAHARU
分类号
G03F7/16;B05C11/08;B05D1/40;H01L21/027
主分类号
G03F7/16
代理机构
代理人
主权项
地址
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