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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH04142066(A) 申请公布日期 1992.05.15
申请号 JP19900265920 申请日期 1990.10.02
申请人 MATSUSHITA ELECTRON CORP 发明人 HIRANO KANJI
分类号 H01L21/3213;H01L21/316;H01L21/3205;H01L21/768 主分类号 H01L21/3213
代理机构 代理人
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