发明名称 MULTISTAGE TYPE VACUUM DIFFERENTIAL PRESSURE DEVICE
摘要
申请公布号 JPH04141585(A) 申请公布日期 1992.05.15
申请号 JP19900257540 申请日期 1990.09.28
申请人 KAWASAKI STEEL CORP 发明人 NARUSE YUTAKA;NAOI TAKAYUKI
分类号 C23C14/56 主分类号 C23C14/56
代理机构 代理人
主权项
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