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发明名称 WIRING PATH SEARCHER
摘要
申请公布号 JPH04142673(A) 申请公布日期 1992.05.15
申请号 JP19900266737 申请日期 1990.10.04
申请人 NEC CORP 发明人 MORIYAMA SEIJI
分类号 H01L21/82;G06F17/50 主分类号 H01L21/82
代理机构 代理人
主权项
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