发明名称 |
METHOD AND APPARATUS FOR TRANSFERRING FINE PATTERN |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH04140186(A) |
申请公布日期 |
1992.05.14 |
申请号 |
JP19900264860 |
申请日期 |
1990.10.01 |
申请人 |
DAINIPPON PRINTING CO LTD |
发明人 |
OKAZAKI AKIRA;KUBOZONO KENICHI;ASAKA KENJI |
分类号 |
B41M3/00;B41F16/00;B65C9/26;G03F7/20;H01L21/027;H01L21/336;H01L29/78;H01L29/786;H05K3/20 |
主分类号 |
B41M3/00 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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