发明名称 THIN FILM FORMING APPARATUS AND ION SOURCE UTILIZING PLASMA SPUTTERING
摘要
申请公布号 KR920003789(B1) 申请公布日期 1992.05.14
申请号 KR19890001268 申请日期 1989.02.03
申请人 NIPPON TELEGRAPH AND TELEPHONE CORP. 发明人 MATSUOKA, MORITO;ONO, KENICHI
分类号 C23C14/32;C23C14/35;H01J37/08;(IPC1-7):C23C14/22 主分类号 C23C14/32
代理机构 代理人
主权项
地址