发明名称 STAGE MICROMOTION MECHANISM
摘要
申请公布号 JPH04140690(A) 申请公布日期 1992.05.14
申请号 JP19900262459 申请日期 1990.09.29
申请人 SHIMADZU CORP 发明人 NISHIMURA KAORU;NISHIBATAKE SHUJI
分类号 G12B5/00;B23Q1/34;B23Q5/28;B23Q15/22 主分类号 G12B5/00
代理机构 代理人
主权项
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