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发明名称 METHOD OF ANNEALING A COMPOUND SEMICONDUCTOR SUBSTRATE
摘要
申请公布号 EP0216285(B1) 申请公布日期 1992.05.13
申请号 EP19860112701 申请日期 1986.09.15
申请人 SUMITOMO ELECTRIC INDUSTRIES, LTD. 发明人 SHIKATA, SHINICHI C/O OSAKA WORKS
分类号 H01L21/314;H01L21/316;H01L21/318;H01L21/324 主分类号 H01L21/314
代理机构 代理人
主权项
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