| 发明名称 |
ALIGNMENT SYSTEM, PARTICULARLY FOR X-RAY OR PHOTOLITHOGRAPHY |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0450592(A3) |
申请公布日期 |
1992.05.13 |
| 申请号 |
EP19910105244 |
申请日期 |
1991.04.03 |
| 申请人 |
KARL SUESS KG PRAEZISIONSGERAETE FUER WISSENSCHAFT UND INDUSTRIE - GMBH & CO. |
发明人 |
KAISER, PAUL |
| 分类号 |
G03F9/00;G12B5/00;H01L21/027;H01L21/30;(IPC1-7):G03F9/00 |
主分类号 |
G03F9/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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