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发明名称 CVD APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH04139815(A) 申请公布日期 1992.05.13
申请号 JP19900263288 申请日期 1990.10.01
申请人 KOKUSAI ELECTRIC CO LTD 发明人 KOBAYASHI HIDEO;NOMURA HISASHI;MITSUYAMA YUKIO
分类号 H01L21/205;H01L21/285;H01L21/31 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
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