Low voltage arc discharge and variable magnetic field for heating a substrate.

摘要

Um ein Heizgut (3) resp. ein zu beschichtendes Substrat in einer Vakuumkammer (1) resp. in einem Rezipienten mittels Gasentladung resp. Niedervoltbogenentladung gleichmassig zu erwärmen, wird vorgeschlagen, dass in der Vakuumkammer resp. im Rezipienten wenigstens während dem Heizen mindestens ein örtlich variables und/oder verschiebbares Magnetfeld aufrechterhalten wird. Vorzugsweise werden mindestens zwei sich teilweise überlappende Magnetfelder aufrechterhalten, die wechselweise stärker oder schwächer betrieben werden, um so die Stromdichte in der Vakuumkammer resp. Rezipienten örtlich zu beeinflussen, und damit entlang dem Substrat, resp. dem Heizgut wechselweise stärkere oder schwächere Erwärmung zu bewirken. <IMAGE>