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发明名称
PRODUCTION OF SILICON SINGLE CRYSTAL AND SEED CRYSTAL
摘要
申请公布号
JPH04139092(A)
申请公布日期
1992.05.13
申请号
JP19900257504
申请日期
1990.09.28
申请人
FUJITSU LTD
发明人
FUKUDA TETSUO
分类号
C30B13/34;C30B15/36;C30B29/06;H01L21/208
主分类号
C30B13/34
代理机构
代理人
主权项
地址
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