离子束增强沉积合成氮化钛薄层的方法

摘要

本发明是一种用氙或氩或其它惰性气体离子束增强沉积合成氮化钛薄层的方法，属于用离子束对物件表面改性处理技术。本发明方法是将物件置于离子束增强沉积系统的靶室中，在电子束蒸发、沉积钛时，利用活性钛对通入靶室氮的吸附，用惰性气体离子束轰击沉积在物件表面的钛及其吸附的氮，以形成高质量氮化钛保护层，使用本方法形成的保护层与物件基体粘着力强、均匀、致密、稳定，提高了物件表面硬度，大大延长了物件使用寿命。

主权项

1、一种离子束增强沉积合成氮化钛薄层的方法，包括对物件表面化学清洗和离子束预清洁处理工艺，其特征在于，室温下，用氙或氩或其它惰性气体离子束轰击蒸发沉积在物件表面的钛及其吸附的通入靶室的氮而合成氮化钛，以形成粘着良好、致密、均匀、稳定的保护层。