MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT,申请号JP19900264347-传众专利搜索

发明名称	MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号	JPH04139871(A)	申请公布日期	1992.05.13
申请号	JP19900264347	申请日期	1990.10.01
申请人	NEC CORP	发明人	TSUKUDA FUMIAKI
分类号	H01L21/822;G06F17/50;H01L21/336;H01L21/82;H01L27/04;H01L29/78	主分类号	H01L21/822
代理机构		代理人
主权项
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