| 发明名称 |
METHOD OF PRODUCING MOS TYPE SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
EP0405205(A3) |
申请公布日期 |
1992.05.13 |
| 申请号 |
EP19900110905 |
申请日期 |
1990.06.08 |
| 申请人 |
SEIKO INSTRUMENTS INC. |
发明人 |
INOUE, NAOTO, C/O SEIKO INSTRUMENTS INC. |
| 分类号 |
H01L21/28;H01L21/316;(IPC1-7):H01L21/316 |
主分类号 |
H01L21/28 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
