发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH04139718(A) 申请公布日期 1992.05.13
申请号 JP19900258862 申请日期 1990.09.29
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 KENMOCHI MASAHITO
分类号 H01L21/20;H01L21/265;H01L27/00 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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