发明名称 MICRO VACUUM DEVICE
摘要
申请公布号 JPH04137339(A) 申请公布日期 1992.05.12
申请号 JP19900257708 申请日期 1990.09.27
申请人 YOKOGAWA ELECTRIC CORP 发明人 MIURA AKIRA;OKA SADAJI;YAGIHARA TAKESHI;UCHIDA AKIRA
分类号 H01J19/32;H01J1/30;H01J1/312;H01J19/24;H01J21/06 主分类号 H01J19/32
代理机构 代理人
主权项
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