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发明名称 FORMATION METHOD FOR WIRING PATTERN
摘要
申请公布号 JPH04137623(A) 申请公布日期 1992.05.12
申请号 JP19900259602 申请日期 1990.09.28
申请人 YOKOGAWA ELECTRIC CORP 发明人 HIRANO YURIKO
分类号 H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/3205;H01L21/3213 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
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