发明名称 INTERATOMIC-FORCE MICROSCOPE
摘要
申请公布号 JPH04137443(A) 申请公布日期 1992.05.12
申请号 JP19900259044 申请日期 1990.09.28
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 AKAMA YOSHIAKI;SUGIHARA KAZUYOSHI;HAYASHI MASAKAZU;ISHIDA FUMIHIKO
分类号 H01J37/28;G01Q20/02;G01Q60/24 主分类号 H01J37/28
代理机构 代理人
主权项
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