发明名称 SPUTTERING TARGET MATERIAL
摘要
申请公布号 JPH04136163(A) 申请公布日期 1992.05.11
申请号 JP19900258025 申请日期 1990.09.26
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 MURAKAMI MOTOYOSHI;KUDO YOSHIHIKO;ORUKAWA MASAHIRO
分类号 C22C1/04;C22C28/00;C22C33/02;C23C14/34 主分类号 C22C1/04
代理机构 代理人
主权项
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