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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR ELEMENT
摘要
申请公布号 JPH04134822(A) 申请公布日期 1992.05.08
申请号 JP19900255267 申请日期 1990.09.27
申请人 OKI ELECTRIC IND CO LTD 发明人 OGURA KEN
分类号 H01L21/304;B08B7/00 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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