发明名称 SEMICONDUCTOR-MANUFACTURING EQUIPMENT AND MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE AND USING SAME
摘要
申请公布号 JPH04134815(A) 申请公布日期 1992.05.08
申请号 JP19900255335 申请日期 1990.09.27
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 SHIOZAWA JUNICHI
分类号 H01L21/8247;H01L21/205;H01L21/822;H01L27/04;H01L29/788;H01L29/792 主分类号 H01L21/8247
代理机构 代理人
主权项
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