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发明名称
SEMICONDUCTOR-MANUFACTURING EQUIPMENT AND MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE AND USING SAME
摘要
申请公布号
JPH04134815(A)
申请公布日期
1992.05.08
申请号
JP19900255335
申请日期
1990.09.27
申请人
TOSHIBA CORP
发明人
SHIOZAWA JUNICHI
分类号
H01L21/8247;H01L21/205;H01L21/822;H01L27/04;H01L29/788;H01L29/792
主分类号
H01L21/8247
代理机构
代理人
主权项
地址
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