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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH04134841(A) 申请公布日期 1992.05.08
申请号 JP19900257785 申请日期 1990.09.27
申请人 NEC CORP 发明人 NISHIYAMA MANABU;KOSHIKAWA KOJI
分类号 H01L21/66 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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