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发明名称
GROWING METHOD OF COMPOUND SEMICONDUCTOR AND GROWING APPARATUS THEREFOR
摘要
申请公布号
JPH04134814(A)
申请公布日期
1992.05.08
申请号
JP19900258121
申请日期
1990.09.26
申请人
SHARP CORP
发明人
SATO HIROYA
分类号
H01L21/203
主分类号
H01L21/203
代理机构
代理人
主权项
地址
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