发明名称 METHOD OF DETERMINING MECHANICAL STRENGTH OF DIELECTRICS ABD SEMICONDUCTORS
摘要
申请公布号 SU1250106(A1) 申请公布日期 1992.05.07
申请号 SU19843823094 申请日期 1984.12.06
申请人 NII YADERNOJ FIZ PRI TOMSKOM POLT I IM.S.M.KIROVA 发明人 POGREBNYAK A.D.,SU;KUZNETSOV M.F.,SU;VOROBEV S.A.,SU;RAKITIN S.V.,SU
分类号 H01L21/66 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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