发明名称 |
MICROWAVE PLASMA TREATMENT APPARATUS |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH04133322(A) |
申请公布日期 |
1992.05.07 |
申请号 |
JP19900254162 |
申请日期 |
1990.09.26 |
申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
KANAI SABURO;KAWASAKI YOSHINAO;ICHIHASHI KAZUAKI;WATANABE SEIICHI;NAWATA MAKOTO |
分类号 |
H01L21/302;H01L21/205;H01L21/3065;H01L21/31;H05H1/46 |
主分类号 |
H01L21/302 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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