| 发明名称 |
CHEMICAL VAPOR GROWTH METHOD OF METAL THIN FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH04133321(A) |
申请公布日期 |
1992.05.07 |
| 申请号 |
JP19900254576 |
申请日期 |
1990.09.25 |
| 申请人 |
NIPPON TELEGR & TELEPH CORP <NTT> |
发明人 |
AMASAWA TAKAO;KUNII YASUO;ARITA MUTSUNOBU |
| 分类号 |
C23C14/02;H01L21/28;H01L21/285 |
主分类号 |
C23C14/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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