发明名称 SEMICONDUCTOR CRYSTAL SUBSTRATE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH04133416(A) 申请公布日期 1992.05.07
申请号 JP19900256283 申请日期 1990.09.26
申请人 NIPPON TELEGR & TELEPH CORP <NTT> 发明人 MAEDA FUMIHIKO;OSHIMA MASAHARU;MICHIGAMI OSAMU
分类号 C30B29/22;H01L21/203;H01L21/205;H01L39/00 主分类号 C30B29/22
代理机构 代理人
主权项
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