| 发明名称 |
METHOD OF FINELY PROCESSING SEMICONDUCTOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH04133327(A) |
申请公布日期 |
1992.05.07 |
| 申请号 |
JP19900256661 |
申请日期 |
1990.09.25 |
| 申请人 |
HIKARI KEISOKU GIJIYUTSU KAIHATSU KK |
发明人 |
NOGIWA SEIJI;SUDA KAZUYA |
| 分类号 |
H01L21/302;H01L21/027;H01L21/306;H01L21/308 |
主分类号 |
H01L21/302 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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