发明名称 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINES SILIZIUM-PIN-DOSIMETERS
摘要
申请公布号 DD299797(A7) 申请公布日期 1992.05.07
申请号 DD19840262920 申请日期 1984.05.11
申请人 VEB ROBOTRON MESSELEKTRONIK "OTTO SCHOEN",DE 发明人 SCHUBERT,DIETRICH,DE;LINEMANN,HARTMUT,DE
分类号 G01T3/08;H01L31/115;H01L31/18;(IPC1-7):H01L31/115 主分类号 G01T3/08
代理机构 代理人
主权项
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