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发明名称
VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINES SILIZIUM-PIN-DOSIMETERS
摘要
申请公布号
DD299797(A7)
申请公布日期
1992.05.07
申请号
DD19840262920
申请日期
1984.05.11
申请人
VEB ROBOTRON MESSELEKTRONIK "OTTO SCHOEN",DE
发明人
SCHUBERT,DIETRICH,DE;LINEMANN,HARTMUT,DE
分类号
G01T3/08;H01L31/115;H01L31/18;(IPC1-7):H01L31/115
主分类号
G01T3/08
代理机构
代理人
主权项
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