AUTOMATIC DEVICE FOR TESTING AND REJECTION OF SEMICONDUCTOR PLATES,申请号SU19894726080K-传众专利搜索

发明名称	AUTOMATIC DEVICE FOR TESTING AND REJECTION OF SEMICONDUCTOR PLATES
摘要
申请公布号	SU1732399(A1)	申请公布日期	1992.05.07
申请号	SU19894726080K	申请日期	1989.07.31
申请人	FIZIKO-ENERGETICHESKIJ INSTITUT AN LATVSSR	发明人	SIKA ZIGURD KARLOVICH;KURKALOV IVAN IVANOVICH
分类号	H01L21/68	主分类号	H01L21/68
代理机构		代理人
主权项
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