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发明名称 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON HALBLEITERANORDNUNGEN MIT KOMPLEMENTAERER SCHALTUNGSSTRUKTUR
摘要
申请公布号 DD299795(A7) 申请公布日期 1992.05.07
申请号 DD19890324757 申请日期 1989.01.02
申请人 VEB FORSCHUNGSZENTRUM MIKROELEKTRONIK DRESDEN,DE 发明人 KAHLERT,VOLKER,DE;STEGEMANN,KARL-HEINZ,DE;GERISCH,DIETBERT,DE
分类号 H01L21/324;(IPC1-7):H01L21/324 主分类号 H01L21/324
代理机构 代理人
主权项
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