| 发明名称 |
VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EXTREM DUENNER, FREITRAGENDER TGS-CHIPS |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
DD299799(A7) |
申请公布日期 |
1992.05.07 |
| 申请号 |
DD19890325252 |
申请日期 |
1989.01.04 |
| 申请人 |
TU DRESDEN DIREKT. FORSCH. |
发明人 |
HEINZE MATTHIAS;NORKUS VOLKMAR;THIERSCH HANS-ULLRICH |
| 分类号 |
H01L21/461;H01L21/64;H01L41/22;(IPC1-7):H01L41/22 |
主分类号 |
H01L21/461 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
