IMPROVING HOLOGRAPHIC LITHOGRAPHY.

摘要

Des premier et second faisceaux cohérents illuminent une région commune sur une station d'exposition (17). Un détecteur de phase comprenant des photodiodes de gauche et de droite (26) détecte la phase relative entre les premier et second faisceaux (31 et 32) pour produire un signal de commande. Il est prévu au moins un dispositif de déphasage (19) dans le chemin d'au moins un des faisceaux cohérents (31 et 32). Le signal de commande est couplé au déphaseur (19) pour ajuster la phase ainsi impartie de sorte que la phase relative entre les premier et second faisceaux cohérents (31 et 32) soit sensiblement constante.