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发明名称 GROWING METHOD OF THIN FILM
摘要
申请公布号 JPH04132694(A) 申请公布日期 1992.05.06
申请号 JP19900253003 申请日期 1990.09.21
申请人 ANELVA CORP;NEC CORP 发明人 SAKAI SUMIO;AKETAGAWA KENICHI;TATSUMI TORU
分类号 C30B25/14;C30B29/06;H01L21/205 主分类号 C30B25/14
代理机构 代理人
主权项
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