| 发明名称 |
HEAT TREATMENT OF NEUTRON-IRRADIATED SILICON SINGLE CRYSTAL |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH04132693(A) |
申请公布日期 |
1992.05.06 |
| 申请号 |
JP19900253207 |
申请日期 |
1990.09.21 |
| 申请人 |
SHIN ETSU HANDOTAI CO LTD |
发明人 |
TODA MASATO;TAKENAKA TAKUO;KITAGAWARA YUTAKA |
| 分类号 |
C30B29/06;C30B31/20;C30B33/02 |
主分类号 |
C30B29/06 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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