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发明名称 METHOD AND APPARATUS FOR ADHERING A TAPE OR SHEET TO A SEMICONDUCTOR WAFER
摘要
申请公布号 EP0193159(B1) 申请公布日期 1992.05.06
申请号 EP19860102397 申请日期 1986.02.25
申请人 FUJITSU LIMITED 发明人 NAKAO, KUNIMICHI
分类号 H01L21/30;C09J5/00;H01L21/00;H01L21/301;H01L21/302;H01L21/67;H01L21/683;H05K13/00;(IPC1-7):H01L21/00 主分类号 H01L21/30
代理机构 代理人
主权项
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