发明名称 SYSTEM FOR THE PRECISE POSITIONING OF AN OBJECT ALONG AN AXIS
摘要
申请公布号 EP0309305(B1) 申请公布日期 1992.05.06
申请号 EP19880402229 申请日期 1988.09.05
申请人 MICRO-CONTROLE, SOCIETE ANONYME DITE: 发明人 BERGER, LAURENT
分类号 G03F9/00 主分类号 G03F9/00
代理机构 代理人
主权项
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