发明名称 ORGANOMETAL GASEOUS PHASE GROWTH DEVICE
摘要
申请公布号 JPH04132680(A) 申请公布日期 1992.05.06
申请号 JP19900253559 申请日期 1990.09.21
申请人 SUMITOMO ELECTRIC IND LTD 发明人 KUWATA NOBUCHIKA
分类号 C30B25/14 主分类号 C30B25/14
代理机构 代理人
主权项
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