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发明名称 PLASMA PROCESSING APPARATUS USING PLASMA PRODUCED BY MICROWAVES
摘要
申请公布号 EP0477906(A3) 申请公布日期 1992.05.06
申请号 EP19910116343 申请日期 1991.09.25
申请人 HITACHI, LTD. 发明人 OHARA, KAZUHIRO;OTSUBO, TORU;SASAKI, ICHIROU, ESTE SHITI SHONAN MUTSUURA 3-904
分类号 C23C16/50;C23C16/511;C23F4/00;H01J37/32;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H01J37/32 主分类号 C23C16/50
代理机构 代理人
主权项
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